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    產品技術
    產業化應用中心
    iTomic? MW Lite批量輕型系列原子層沉積系統
    iTomic? MW Lite批量輕型系列ALD系統，設備以國產化零部件為主導，可滿足高端研發和新工藝試量產需求，尤其適用于新型太陽能電池以及顯示行業應用。
    銷售郵箱
    semisale@xzhcgy.com
    產品特點
    采用最新自主設計開發的模塊化自動平臺 與ALD反應腔
    1
    實現可自由選擇的半自動或全自動ALD系統
    2
    滿足各類晶圓尺寸(4、6英寸)的工藝需求，適用于客戶高端研發和新工藝開發
    3
    4寸晶圓可實現單批次裝載450pcs
    4
    薄膜均勻性優，可實現片內<1.5%
    5
    滿足供應鏈高比率國產化需求
    6
    前臺熱線：
    0510-81975900
    公司地址：
    江蘇省無錫市新吳區長江南路27號
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