火狐电竞

    CN
    產品技術
    正膜Al?O?/SiN?
    祝融系列ZR5000×3管式PEALD/PECVD集成系統
    祝融系列ZR5000×3管式 PEALD/PECVD集成鍍膜平臺延伸祝融系列概念，一體式設計實現氮化硅正膜、氧化鋁/背膜、氧化硅/多晶硅鈍化膜一站式完成，可實現單道產能翻倍，節省占地面積。ZR5000×3兼具先進的制造執行管理系統（MES）和自動導引車（AGV）對接功能。在提供超高產能的同時，最大程度降低設備的運營成本，為后PERC高效電池技術提供理想可靠的量產解決方案，引領光伏產業化高效電池制造。
    銷售郵箱
    產品特點
    用于 PERC, TOPCon, XBC等高效電池技術路線的應用
    1
    搭配高載片量的石墨舟設計
    2
    具備優異的薄膜厚度均勻性
    3
    精準制備薄膜：Al?O?, SiO?, poly-Si(n+), poly-Si(p+), SiNx/ SiC/ SiON 等
    4
    提供 PERC/ TOPCon 量產工藝 PEALD/ PECVD 路線集成技術
    5
    前臺熱線：
    0510-81975900
    公司地址：
    江蘇省無錫市新吳區長江南路27號
    ? 2013 江蘇火狐电竞納米科技股份有限公司 版權所有. All rights reserved.
    蘇ICP備16047353號-1
    26uuu久久